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2024年12月7日消息，国家知识产权局信息显示，苏州敏芯微电子技术股份有限公司取得一项名为“加速度传感器结构与加速度传感器”的专利，授权公告号 CN 222105499 U，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本实用新型的实施例公开了一种加速度传感器结构与加速度传感器，其中加速度传感器结构包括：衬底；可动质量块，其位于衬底的一侧；可动质量块上设有镂空槽；锚点，其容置于镂空槽内以用于支撑可动质量块；一对弹性梁组件，其容置于镂空槽内，一对弹性梁组件对称设置在锚点关于第一轴向的两侧；每个弹性梁组件包括：质量结构，其设置在锚点关于第一轴向的一侧；第一弹性梁，至少两个第一弹性梁连接锚点和质量结构；第二弹性梁，一对第二弹性梁分别对称设置在所有第一弹性梁的两侧；第二弹性梁连接质量结构与可动质量块。根据本实用新型，其避免可动质量块受到第一平面内扭转的干扰模态影响的同时，降低整体扭转刚度，提高产品灵敏度。
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